◎ 主体采用优质PP\PVDF\PVC\SUS等洁净材料及配件实行施工工艺 ；
◎ 根据用户环境不同设计合理的(包括台式、嵌入式 、手套箱式)方案；
◎ 适合于4-8英寸晶圆显影工艺 ，人机界面控制；
◎ 摆臂式自动多路显影喷液，去离子水，吹气功能·可根据不同工艺更换多种显影喷头；
◎ 转速可调范围:20-10000rpm ；
◎ 加减速度可调范围:0-50000rpm/s.转速精度:±1rpm ，可存贮100组100步涂胶程序；
◎ 外型尺寸:1500mm(宽)*1050mm(深)*2100mm(H)；
◎ 系统设计包括洁净新风系统、废液收集系统以及黄光环境等各项指标；
◎ 系统设计去离子水、增压泵浦(可选件)、CDA或氮气压力端子或管路装置 ；
◎ 工业伺服电机系统 ，性能稳定 ，满足工业化生产要求·可选显影液控温循环系统 ，增强工业稳定性·底部排废，顶部抽风功能 ；
◎ 应用范围 ：半导体化合物、集成电路和IC、光伏、LED、TFT-LCD、化工 、光子／光量子、石化 、科研院所或其他工业用户；
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